1 октября 2018 года в 15.00 в аудитории 409 корпуса №17 состоится научное собрание приборостроительного факультета по рассмотрению диссертации старшего преподавателя кафедты "Инженерная математика" ПСФ Реутской Ольги Геннадьевны на тему «Конструкции и технологии мультисенсорных газовых микросистем на основе кремния и наноструктурированного оксида алюминия», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук.
Диссертация выполнена под научным руководством член-корреспондента Национальной академии наук Беларуси, доктора технических наук, профессора, заведующего кафедрой «Микро- и нанотехника» Белорусского национального технического университета Плескачевского Юрия Михайловича.
Автором проделана следующая работа:
- разработана конструкция мультисенсорной микросистемы на основе подложек из кремния и пористого оксида алюминия для контроля состава газовой среды, позволяющая значительно снизить потребляемую электрическую мощность полупроводниковых датчиков, обеспечивающая повышенную селективность, работоспособности при циклическом режиме контроля состава окружающей среды, что подтверждено патентами на изобретение и полезные модели;
- предложен новый метод повышения стабильности характеристик мультисенсорной микросистемы на подложках из кремния и пористого оксида алюминия, включающий формирование в диэлектрических подложках сквозных щелей вокруг нагревательных элементов для снижения потребляемой мощности;
- показана возможность увеличения сенсорного отклика с чувствительными элементами из полученных золь-гель методом новых активных слоев при воздействии газов CO, H2, C3H8, NO2;
- предложен метод формирования газочувствительных слоев на поверхности чувствительных элементов мультисенсорных микросистем послойным нанесением растворов, позволяющий увеличить сенсорный отклик в 1,5 – 2,0 раза;
- разработана конструкция диэлектрической мембраны, устойчивой к воздействию высоких температур, и обеспечивающая долговременную высокую адгезию платиновых резисторов на поверхности мембраны;
- исследовано влияние режимов постоянного и импульсного нагрева газочувствительных слоев на сенсорный отклик мультисенсорных микросистем;
- предложена методика измерения сигнала мультисенсорной микросистемы на основе методики измерения сенсорного отклика в режиме импульсного нагрева для расширения функциональных способностей мультисенсорных датчиков в составе пожарного извещателя и повышения эффективности контроля горючих и токсичных газов в окружающей среде.
