Кафедра створана ў 2007 г., з перадачай падрыхтоўкі спецыялістаў па спецыяльнасці 1-41 01 01 "Тэхналогія матэрыялаў і кампанентаў электроннай тэхнікі" з перспектывамі паглыблення інжынерна-фізічнай падрыхтоўкі студэнтаў у галіне нанатэхналогій, распрацоўцы новых метадаў дыягностыкі нанааб'ектаў і нанаструктурных матэрыялаў, і перш за ўсё патрэбамі навуковых і прамысловых устаноў Рэспублікі Беларусь у электроніцы, кампазіцыйным матэрыялазнаўстве, вытворчасці мікра- і нанаэлектрамеханічных сістэм (МЭМС і НЭМС). З 2009 года кафедра дадаткова ажыццяўляе падрыхтоўку спецыялістаў па спецыяльнасці 1-38 01 04 "Мікра- і нанасістэмная тэхніка".
У аснову адукацыйнага працэсу пакладзены вопыт навуковых даследаванняў і вынікі ў галіне механікі матэрыялаў і канструкцый, нанатэхналогій, прыборабудавання, кампазіцыйнага матэрыялазнаўства, атрыманых вядучымі спецыялістамі кафедры.
Кафедра мае цесныя кантакты з многімі інавацыйна-актыўнымі прадпрыемствамі і арганізацыямі рэспублікі. Сярод іх заводы і канструктарскія бюро ААТ "Інтэграл", НВА "Планар", ААТ "Мінскі НДІ радыёматэрыялаў", МНДПІ, інстытуты НАН Беларусі, вядучыя фірмы і інш.
Кафедра "Мікра- і нанатэхніка" ажыццяўляе падрыхтоўку спецыялістаў (інжынераў, магістрантаў, кандыдатаў і дактароў навук) у галіне мікра- і нанасістэмных вырабаў і тэхналогій іх вытворчасці. Гэта новы напрамак навукі і тэхнікі, які дынамічна развіваецца і з кожным годам патрабуе ўсё большай колькасці інжынерных і навуковых кадраў. Мікрасістэмная тэхніка, мікрамашыны, мікраэлектрамеханічныя сістэмы (МЭМС) распрацоўваюцца і вырабляюцца ва ўсіх тэхналагічна развітых краінах свету ва ўсё большых аб'ёмах. Эканоміка Беларусі асабліва мае патрэбу ў спецыялістах, здольных распрацоўваць і арганізоўваць вытворчасць такіх вырабаў. Вырабляемыя ў Беларусі аўтамабілі, трактары, камбайны, бытавая тэхніка і інш. утрымліваюць мноства датчыкаў, сэнсараў, гіраскопаў, мікрарухавікоў, розных прыбораў і мініяцюрных пераўтваральнікаў, якія патрабуюць бесперапыннага ўдасканалення згодна з патрабаваннямі сусветнага рынку. Таму кадры МНТ, якія выпускаюцца кафедрай, запатрабаваны як на прамысловых прадпрыемствах, так і ў галіновых і акадэмічных канструктарскіх бюро і інстытутах Беларусі. Кафедра МНТ - адзіная ў краіне, якая рыхтуе такіх унікальных спецыялістаў, таму іх праца ў рэальнай эканоміцы годна аплачваецца.
У падрыхтоўцы спецыялістаў на кафедры МНТ прымаюць удзел акадэмік, член-карэспандэнт НАН Беларусі, дактары і кандыдаты навук, прафесары і дацэнты. Ёсць добра аснашчаныя вучэбна-навуковыя лабараторыі, функцыянуюць філіялы кафедры на ААТ "Інтэграл", ААТ "Мінскі НДІ радыёматэрыялаў", ДНУ "Інстытут цепла- і масаабмену ім. А.У. Лыкава НАН Беларусі». Спецкурсы і дысцыпліны спецыялізацыі чытаюцца спецыялістамі, якія працуюць у філіялах кафедры. Усе курсавыя і дыпломныя работы выконваюцца па тэматыцы меркаваных месц размеркавання. Арганізавана і аснашчаецца сучасным навуковым і тэхнічным абсталяваннем Галіновая лабараторыя (АНІЛ-МЭМС) для распрацоўкі новых тэхналогій і перспектыўных узораў мікратэхнікі для прадпрыемстваў Мінпрама і Дзяржкамваенпрама Рэспублікі Беларусь. Студэнты,
Працэс падрыхтоўкі спецыялістаў звязаны з вывучэннем тэхналогій вырабу, метадаў разліку, канструявання і дыягностыкі мікраэлектрамеханічных і нанаэлектрамеханічных сістэм, нанааб'ектаў і нанаструктурных матэрыялаў, метралагічнага забеспячэння вымярэнняў на нанаўзроўні, вызначэння ўласцівасцей матэрыялаў і кампанентаў у нанамаштабе, асаблівасцям работы мікра- і нанасістэм у сучасных машынах і апарат. .
Прафесійная дзейнасць будучага дыпламаванага спецыяліста ў галіне мікрасістэмнай тэхнікі прадугледжвае даследаванне, распрацоўку, стварэнне і прымяненне звышмініятурных прыбораў, сэнсараў, выканаўчых механізмаў і мікрамашын на аснове сістэмнай інтэграцыі электронікі, матэрыялазнаўства, механікі, оптыкі, хіміі і біялогіі. Усе гэтыя кампетэнцыі маюць выпускнікі кафедры «Мікра- і нанатэхніка».
Перспектывы далейшага развіцця кафедры абумоўлены сусветнымі тэндэнцыямі мініяцюрызацыі тэхнікі і непасрэдна звязаны з навукова-тэхнічнай палітыкай Рэспублікі Беларусь у галіне высокіх тэхналогій, з распрацоўкай і выкананнем міжнародных і нацыянальных праграм НДДКР у галіне нанатэхналогій, стварэннем вытворчасцей 5-га і 6-га тэхналагічных укладаў, далейшым стымуляваннем інавацыйнай дзейнасці прамысловасці і камерцыялізацыяй новых тэхналогій, прыбораў і абсталяванні.
Студэнты кафедры штогод у красавіку прымаюць удзел у арганізаванай прыборабудаўнічым факультэтам Міжнароднай навукова-тэхнічнай канферэнцыя маладых вучоных і студэнтаў «Новыя напрамкі развіцця прыборабудавання», выкладчыкі – у міжнароднай канферэнцыі «Прыборабудаванне», якая традыцыйна праходзіць у лістападзе. Актуальная інфармацыя па гэтых мерапрыемствах знаходзіцца на сайце факультэта.
Матэрыяльна-тэхнічная база кафедры складаецца з лабараторыі "Тэхналогіі паўправадніковых прыбораў і інтэгральных схем", лабараторыі "Нанадыягностыка", лабараторыі "Тэхналогіі матэрыялаў электроннай тэхнікі" і "Лабараторыя па даследаванні хімічных сэнсараў".
Лабараторыя "Нанадыягностыка" абсталявана 6 атамна-сілавымі мікраскопамі NT-206 прызначанымі для нанакантролю структур і паверхняў, правядзення лабараторных работ па курсах "Матэрыялы мікра- і нанасістэмнай тэхнікі", "Тэхніка нанакантролю", "Кампаненты мікра- і нанасістэмнай тэхнікі", выканання курсавых. і дыпломных работ па распрацоўцы новых методык аналізу нанааб'ектаў і паверхняў. Для ўсіх пералічаных дысцыплін ёсць метадычнае забеспячэнне для правядзення лабараторных работ. Лабараторыя можа быць выкарыстана для навукова-даследчай працы студэнтаў.
Ванна Ленгмюра-Блоджэт LT-103 прызначана для нанясення мона- і мультымалярных плёнак на паверхню цвёрдых узораў і для фарміравання аднастайных адно-і шматкампанентных плёнак метадам гарызантальнага аблогі.
Лабараторыя аснашчана інфармацыйнымі стэндамі, абсталявана мультымедыйным праектарам і ноўтбукам для прэзентацый, якія выкарыстоўваюцца пры чытанні лекцый, абаронах курсавых і дыпломных работ.
Лабараторыя "Тэхналогіі матэрыялаў электроннай тэхнікі" абсталявана электрычнымі печамі і сушыльнай шафай, прызначанымі для тэрмічнай апрацоўкі матэрыялаў; металаграфічнымі мікраскопамі, прызначанымі для вывучэння мікраструктуры металаў і іх сплаваў; прыладай для вызначэння цвёрдасці па Брынелі; фотакаларыметрамі для вывучэння ўласцівасцей раствораў, а таксама ўзорамі матэрыялаў электроннай тэхнікі для правядзення лабараторных работ па дысцыплінах «Матэрыялазнаўства і тэхналогія матэрыялаў», «Фізічная хімія», «Тэхналогія матэрыялаў і кампанентаў электроннай тэхнікі». Лабараторыя можа быць выкарыстана для навукова-даследчай працы студэнтаў.
Лабараторыя "Тэхналогіі паўправадніковых прыбораў і інтэгральных схем" прызначана для вывучэння фізіка-хімічных працэсаў фарміравання і зборкі паўправадніковых прыбораў. Лабараторныя работы выконваюцца на складаных рабатызаваных комплексах, аналагі якіх выкарыстоўваюцца на дзеючай вытворчасці для вырабу серыйных паўправадніковых прыбораў. Наяўнае абсталяванне і вымяральныя прыборы дазваляюць праводзіць лабараторныя заняткі па дысцыплінах "Тэхналогія паўправадніковых прыбораў і інтэгральных схем" і "Тэхналогія зборкі інтэгральных схем".
"Лабараторыя па даследаванні хімічных сэнсараў" прызначана для правядзення даследаванняў, мадэлявання і выпрабаванняў хімічных (газавых) мікра- і нанасенсараў, выпрабаванняў хімічных і біяхімічных сэнсараў, сертыфікацыі хімічных датчыкаў і сістэм на іх аснове. Лабараторыя можа быць выкарыстана для навукова-даследчай працы студэнтаў, магістрантаў і аспірантаў.
Тэрмін атрымання вышэйшай адукацыі на дзённай форме атрымання адукацыі складае 4 гады. Тэрмін атрымання вышэйшай адукацыі на завочнай скарочанай форме складае 4 гады.